GENEVA, March 18 -- TOKYO ELECTRON LIMITED (3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo1076325), 東京エレクトロン株式会社 (東京都港区赤坂五丁目3番1号), YAMAGUCHI UNIVERSITY (1677-1, Yoshida, Yamaguchi-shi, Yamaguchi7538511), 国立大学法人山口大学 (山口県山口市吉田1677-1) filed a patent application (PCT/JP2025/031298) for "PATTERN FORMATION METHOD" on Sep 04, 2025. With publication no. WO/2026/054016, the details related to the patent applicatio...